SEM Lab

^{掃瞄式電子顯微鏡(SEM)}

^{EDS微區元素能量分析儀}


^{一、掃瞄式電子顯微鏡（SEM）規格}

		^{TOPCON SM350}


^{*本　　體：}	^{可變真空掃瞄式電子顯微鏡。（真空值：1～270Pa可調整）}
^{*偵　測　器：}	^{二次電子偵測器。}
	^{四分割半導體式背向電子偵測器。}
^{*解　析　度：}	^{二次電子影像～3.5nm﹒（W.D.=5mm，25KV）}
^{*放大　倍率：}	^{20～ 300,000。}
^{*加速　電壓：}	^0.5～30KV
^{*燈　　絲：}	^鎢絲
^{*燈絲　調整：}	^{自動＋手動，並有長壽命、標準、高解析三種模式。}
^{*Gun alignment準位顯示，記憶功能。}
^{*全自動操作：}	^{Auto Brightness and contrast.}
	^Autofocus
	^{Autostigmation and focus}
	^{Auto gun alignment}
	^{Auto Filament saturation}
	^{Auto start}
	^{Full Automated operation}
	^{燈絲電流有長壽命、標準及高解析模式自動調整。}
	^{二次電子偵測器有高解析、標準及TOPO模式。}

^{*Scan mode　：}	^{全功能掃瞄模式，波形顯示。}
^{*數位影像儲存解析度Frame memory：}
	^{1,280 960 Pixel 640 480 Pixel TIFF or BMP format}
^{*（Eucentric）樣品台移動範圍：}
	^{X：80mm Y：40mm Z：5~48mm Ｒ：360o T：-10o~+90o}
^{*有電子束影像旋轉，動態聚焦功能(0-80度)及傾斜補正。}
^{*電腦　規格：}	^{Pentium III CPU。128 MB SCSI RAM,} ^{SCSI HD, CD ROM,}
	^{SCSI interface, 1.44 MB FD, Monitor 19"平面直角（或更佳）}
	^{10/100 M網路卡}
^{*真空　系統：}	^{氣動閥式全自動真空系統。} ^{並可顯示真空讀值。}
^{*三菱CP770DW彩色影像列表機。}
^{*High-Speed External Controlled Beam Blanking:}
	^{Td(ON)及Td(OFF)~500ns 含外部控制界面}
^{*數位電子束控制界面}
^{*鍍金機---含抽氣系統}

^{二、EDS微區元素能量分析儀規格}

^{UHV
Dewar+Edwin（含數位式影響處理）}

^{1﹒偵測器
(Detector)}

^{1.1 解析度
(Resolution)：138eV以上﹒}

^{1.2 元素偵測範圍：B5~U92﹒}

^{1.3 LN2（液態氮）冷卻式，可以thermally
cycled﹒}

^{2﹒電腦系統
(Computer System)}

^{IBM Computer PIII PC,
128MB RAM, SCSI hard disk, CD ROM}

^{Ethernet card (10/100
M),19"平面直角顯示器}

^{Windows NT 或Microsoft
Windows OS}

^{3﹒分析系統
(Analysis System)}

^{Full 32bit application
program}

^{Qualitative Analysis
定性分析}

^{Quantitative Analysis
定量分析}

^{Multipoint Analysis 自動多點及多面自動搜尋分析}

^{Linear distance measurement
長度測量功能}

^{Image segmentation with
area percent measurement 影像區段含面積百分比計算功能}

^{Spectral position auto
calibration 頻譜自動校正功能}

^{二、EDS微區元素能量分析儀規格}

	^{UHV Dewar+Edwin（含數位式影響處理）}


^{1﹒偵測器 (Detector)}
	^{1.1 解析度 (Resolution)：138eV以上﹒}
	^{1.2 元素偵測範圍：B5~U92﹒}
	^{1.3 LN2（液態氮）冷卻式，可以thermally cycled﹒}

^{2﹒電腦系統 (Computer System)}
	^{IBM Computer PIII PC, 128MB RAM, SCSI hard disk, CD ROM}
	^{Ethernet card (10/100 M),19"平面直角顯示器}
	^{Windows NT 或Microsoft Windows OS}

^{3﹒分析系統 (Analysis System)}
	^{Full 32bit application program}
	^{Qualitative Analysis 定性分析}
	^{Quantitative Analysis 定量分析}
	^{Multipoint Analysis 自動多點及多面自動搜尋分析}
	^{Linear distance measurement 長度測量功能}
	^{Image segmentation with area percent measurement 影像區段含面積百分比計算功能}
	^{Spectral position auto calibration 頻譜自動校正功能}