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| 掃瞄式電子顯微鏡(SEM) | EDS微區元素能量分析儀 |
| 一、掃瞄式電子顯微鏡(SEM) | ||
| TOPCON SM350 | ||
| 拆封 | ![]() |
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| 下架 | ![]() |
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| Turbo Pump: | ![]() |
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二次電子 偵測器 |
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| 主體配線 |
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SEM裝機後的第一個影像
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| 二、EDS微區元素能量分析儀 | |||
| 偵測器 (Detector) | ||
| 將液態氮灌入偵測器中,使偵測器降溫 | ||
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