掃瞄式電子顯微鏡(SEM) EDS微區元素能量分析儀
 
一、掃瞄式電子顯微鏡(SEM
   
  TOPCON SM350
   
拆封
     
下架
   
Turbo Pump:
     

二次電子

偵測器

     
主體配線
 
SEM裝機後的第一個影像

 
二、EDS微區元素能量分析儀  
   
     
   
偵測器 (Detector)  
  將液態氮灌入偵測器中,使偵測器降溫