2003/10/27-200310/28日本技師來台維修記錄

A. 調整修理Y軸

1.先將箭號所指的司螺絲鬆掉,將整隻紅銅部份往外推		2.將Y軸部份整個拆掉
3.藍色框框中為控制X軸的部份,將紅銅下方的螺絲拆掉,X軸就拆卸下去了		4.藍色框框中為控制rotation的部份,將螺絲卸下,就與樣品平台分離
5.因為整個樣品平台移動並不順,所以將樣品平台拆下來調整,箭頭所指部位螺絲要拆掉		6.平台下方也有螺絲,都要拆下來
7.整個平台拆掉後的腔體		8.調整平台左右的螺絲,使移動順暢
9.要整個平台可以在彈簧帶動下移動平順		10.放上滑軌,將平台裝回去,在滑軌上上油(這種油為高真空用,而且耐高溫,不容易碳化)
11.鎖上下方螺絲		12.同樣要調整螺絲,讓移動順暢
13將Y軸換上		14.將傳動軸接上
15.歸零校正,由sem影像旋轉的方向,定出中心,將圖中標示1,2的部位螺絲拆掉,chamber的面板就可以打開		16.兩個座標計數器,右邊為Y軸,左側為X軸
17.箭頭指的位置有一個控制按鍵,一壓就數字歸零

B.調整BEAM Blanker Aperture

1.拆y方向旋鈕		2.拆x方向旋鈕
3.拆pin hole		4.將螺絲卸下
5.拆xy方向彈簧		6.箭頭指的部位要旋開
7.拆下後為圖中所示		8.將7部份拆卸成兩部份
9.將螺絲鬆開		10.所有零件拆卸後全貌
11.裝上後,一樣上高真空潤滑油

C.檢查WD電腦讀值不對問題

1.檢查電路中,AD669及AD7837 兩顆IC有無問題,更換新的IC皆無任何變化,電路電壓也無問題

2.最後修改電腦程式內部設定,WD讀值恢復,但倍率不對,正待林先生與原廠連絡解決

D.維修記錄簿內容: PDF