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| Beam Blanker | 背像散射系統 | EDS | 鍍金機 | |
| SEM | ||||
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TOPCON SM350(1.52Mb)
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初階學習者必讀手冊(英文手冊摘錄220kb)
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中文操作手冊(25kb)2002/10/8
新版
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中文電子束校正程序說明（需進階授權使用者）
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| Beam Blanking Device | ||||
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BBK-300(250kb)
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| Back-Scattered Electron Image System | ||||
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SSBSE-5(2.9Mb)
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| EDS | ||||
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Quick
Start(5.5Mb)
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系統說明(7.4Mb)
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Edwin
Shell(5.5Mb)
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Edwin
tool(11.1Mb)
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Scan
Vision(6.7Mb)
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| 鍍金機 | ||||
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SC7620
MINI SPUTTER COATER(1.9Mb)
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中文操作手冊(29kb)
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