電子束聚焦系統

           下圖中系統的最上端為產生電子束的電子槍。發散的電子通過陽極之後，            
           隨即為聚焦鏡(comdenser lens)所凝聚，在通過物鏡(objective ens)後於樣 
           品的位置形成一極為微小的聚焦電子束點。物鏡上方的掃瞄線圈(scan coil)
           藉由外加控制電壓所產生的磁場，去改變通過的電子束的偏折方向。 
           連結此掃瞄控制電壓訊號至映像管，則螢幕上的掃瞄訊號會與樣品上聚焦 
           電子束同步。電子打到樣品時會產生散射電子，二次電子或X光螢光等訊號 
           。這些訊號分別由各種不同的偵測器偵測，若以偵測器所得訊號大小為每 
           一掃瞄點的亮度值，則可於螢幕上真時(real time)的看到樣品影像。