於此我們將簡單的介紹掃瞄式電子顯微鏡(SEM Scanning

Electron Microscope)。儀器設備部分介紹以產生

電子來源的電子槍，改變電子行進方向的電磁透鏡 ，與

光學聚焦系統為主。原理部分將只簡單的描述

電子束行進的電子路徑，和電子與物質之交互作用。此外

，我們也簡易的探討為何需要以真空為操作

環境，及顯示部分樣品室內部的構造。