真空的需求

 

對電子顯微鏡而言，真空為必備的操作環境。在真空度不夠的環境中
，電子束與殘留氣體碰撞的機率高，不易維持穩定的電子束。再則因
氣體的存在，也易使加熱燈絲燒斷。氣體被游離的情況亦會增加導電
性，使得內部放電可能提升，因而影響電子束的穩定性。且電子束與
氣體間的碰撞不僅只改變電子行進方向，亦會引起樣品或顯微鏡內部
組件材料的化學反應。這不僅會引起性質變化或其他物質在各個表面
的沈積，亦會降低影像對比或模糊了影像。