![]() |
![]() |
![]() |
Sep. 2004 |
Nov. 2004 |
Dec. 2004 |
Jan. 2005 |
||
Feb. 2005 |
Mar. 2005 |
Apr. 005 |
May 2005 |
Jun. 2005 |
Jul. 2005 |
日期 |
工作內容 |
處理結果 |
2004/10/20 | 鍍金機玻璃統更換,林先生前來調整金鍍金機真空 | 真空=8E-2, 鍍金機電流為3mA |
2004/8/31 | EDX主機由歐美加林先生送回,裝機 |
Feb. 2004
|
Mar. 2004
|
Apr. 004
|
May 2004
|
Jun. 2004
|
Jul. 2004
|
日期 |
工作內容 |
處理結果 |
2004/1/16 | EDX主機及DETECTOR由歐美加公司收走,準備送回原廠 | |
2003/12/18 | 德國原廠提供關於EDX的service information | |
2003/12/3 | EDX灌入液氮後,SEM真空抽不下去,檢查結果:EDX整支結冰 | 將EDX拔起,換成蓋板,SEM真空恢復,EDX已通知林先生聯絡原廠 |
2003/11/20 | Air鈕閃動發出警報聲,為真空不佳之警告 | 維修記錄 |
2003/11/12 | 清洗整理SEM | 將SEM的整個column,清洗整理保養SEM→維修記錄 |
2003/11/11 | 電流不穩,更換新燈絲 | |
2003/11/8 | 機台跳機,WD不正常 | 通知林先生 |
2003/11/7 | 林先生來測試影像標準的pixel數 | 日本技師提供程式不完整無法調整,標準3*4影像應為X*Y=241pix*301pix目前機台PHOTO看到為268pix*332pix,未PHOTO為279pix*338pix皆不對,需等日方提供程式修正 |
2003/11/4 | 機台跳機,燈絲斷,Y-SCAN的保險絲斷。 | 維修記錄 |
2003/10/27-28 | 日本技師到校調整機台 | 維修記錄 |
2003/10/15 | 機台跳機,燈絲斷,X-SCAN的保險絲斷。 | 維修記錄 |
2003/10/7 | SEM筆試補考 | |
2003/10/2-3 | SEM初階考試 | |
2003/9/16 | SEM搬遷 | 由歐美加林先生主持搬遷,順利將機台遷至3A01 |
2003/8/14 | 清洗整理SEM | 將SEM的整個column,清洗整理保養SEM→維修記錄 |
Jan. 2003
|
|||||
Jul. 2003
|
日期
|
工作內容
|
處理結果
|
2003/6/20 | 林先生來更換Y軸傳動螺絲 | 維修失敗,因傳動螺絲需要按一定程序裝回,要不然整個傳動不會平穩而且會有應力產生,所以此次新的零件,因此而壞掉,由歐美加公司負擔,並另外訂購整組Y軸傳動零件,且請林先生跟原廠要裝回標準程序。 |
2003/5/30 | SEM RP換油 | |
2003/5/29 | 將螺絲咬牙部分重攻,整支軸不再卡住不動,重新裝回 | 目前暫時開放使用,Y軸僅在35-0-950間活動,確保機器運作正常 |
2003/5/26 | 林先生來維修Y軸 | 維修記錄 |
2003/5/23 | Y軸,有怪聲,傳動軸在刻度51處不會動 | 天亮會聯絡林先生來維修 |
2003/4/18 | SEM2003 spring考試 | 最新版qualified user名單 |
2003/3/25 | 林先生前來調整搖桿 | 調整搖桿電阻,XY軸問題已解決 |
2003/2/25 | 發現鍍金機的Chamber又有破裂,真空度已經剩下0.06mbar,但仍可使用 | 發現為碩一同學打破,通知指導老師,登記於物品損害記錄 |
2003/2/11 | 林先生來檢查XY軸在高倍率不太動問題 | 拍照,請原廠給建議 |
2002/12/9 | 與林先生聯絡 | 林先生剛到大陸,年底前不會回來,他會聯絡其他技師來維修 |
2002/12/7 | SEMY軸在1KX以上就不太動 | 週一通知林先生 |
2002/11/13 | 更換Scintilator | 林先生前來更換scintilator,更換結果,影像對比清晰 |
2002/11/11 | 修理SEM | 林先生前來,檢查JEB13及JEB14兩條線路前端保險絲,發現JEB14的保險絲燒斷,更換保險絲之後,影像恢復正常比例,但是對比仍然不好,需更換SCINTILATOR |
2002/11/4 | 修理SEM | 林先生前來檢查SEM,前端控制沒有問題,記錄影像,請原廠提供意見 |
2002/11/2 |
SEM在30KV跳機兩次。影像失真,X被壓縮,Y被拉長。 跳機狀況為:突然破真空,燈絲因真空度不夠,自動SHUT DOWN TURBO的VALVE被關掉,真空調到真空記指針1/3的地方,機器會自動再抽真空。 處理程序:按STAND BY,關程式。再開啟程式,等HV READY後十分鐘開機(此時電壓值為30KV)。但又再度跳機,同樣程序用20KV開機,影像就失真了! |
已通知林先生,週一上午來修理 |
2002/10/31 | 變更SEM擺設 |
1.將19吋CRT更換為17吋LCD,避免CRT干擾到電子束 2.更換光學滑鼠 3.將主機前工作桌移至最右邊,並在主機前放置一保護機台的木板平台,以避免撞倒機台的事情再發生 |
2002/10/29 | 林先生前來更換鍍金機燈絲 | 更換後,調整後真空0.08mbar約為5mA, 超過16mA會安全跳脫無法啟動電流,真空必須回到0.1mbar以下,才可繼續使用 |
2002/10/28 | 再度檢查BEAM BLANKER的APERTURE,發現前面,APERTURE有凹洞 | 更換APERTURE之後,突然失焦的情況,減少許多,繼續觀察中 |
2002/10/25 | 調慢破真空速度,目前,破真空時,聽不到進氣聲,欲知破真空速度,請看『Air』鍵上方的真空計,當真空計指針指到『0』才是回到大氣壓力 | 重要事項,需公告周知 |
2002/10/24 | 林先生來撿修,在初階考試中,被碩一同學撞到Beam Blanker的Aperture,登記於物品損害記錄 | 目前在上grease之後,原先進不去的問題,有解決,但是30um的Aperature調整,仍會有鬆脫不穩的問題,繼續使用觀察中。 |
2002/10/21 | 公佈初階使用者名單 | |
2002/10/18 | SEM補舉行考試,及筆試補考 | |
2002/10/14 | 公佈筆試補考名單 | |
2002/10/14 | 找出問題,為Y軸超過警戒線,所以發出警報 |
歸零後,恢復正常,刻度界限如下:Y軸 100-000-900,X軸325-000-925 |
2002/10/11 | SEM發出警報聲 | 已聯絡林先生,下週盡快維修 |
2002/10/10-12 | 90學年度第一次SEM初階使用者執照考試 | |
2002/9/20 | 鍍金機真空計燈絲報價5800 | 已訂購,預計十月中到貨 |
2002/8/6 | 檢查SPOT SIZE | 請林先生檢查,並調整Gun Alignment |
2002/8/28 | 鍍金機損壞 | 聯絡林先生檢查 |
2002/8/29 | 鍍金機停用,已將油污清洗乾淨 | 經林先生檢查,真空壓力計損壞,訂料待修 |
採購日期 |
採購品名 |
數量 |
總價 |
備註 |
2004/11/2 | 燈絲, aperture, 碳膠帶等 | 一批 |
$50000 |
教務處付款 |
2004/10/20 | 鍍金機玻璃筒 | 1 |
$380 |
繫上付款 |
2004/2/10 | 燈絲 | 20 |
$18000 |
繫上付款 |
2003/9/19 | 燈絲 | 10 |
$9000 |
繫上付款 |
2003/9/17 | 線材、塑膠椅門栓、濾網等 | 一批 |
$3613 |
繫上付款 |
2003/9/3 | 環氧樹脂地板 | 3A01 |
$21368 |
繫上付款 |
2003/8/16 | 亮光油漆及刷子 | 1批 |
$3152 |
繫上付款 |
2003/7/30 | Y軸零件 | 一組 |
$20350 |
繫上付款 |
2002/12/19 | 燈絲 | 10 |
$9000 |
繫上付款 |
2002/11/13 | Scintilator | 1 |
$9000 |
繫上付款 |
2002/11/13 | Aperture set | 1 |
$4500 |
繫上付款 |
2002/10/29 | 鍍金機燈絲 | 1 |
$5800 |
繫上付款 |
2001/5/19 | Ar氣;鋼瓶;壓力計 | 1 |
$8000 |
已付 |
2001/5/23 | 黏性腳踏墊 | 1 |
$4800 |
已付 |
2001/7/29 | 壓條 | 10 |
$300 |
繫上付款 |
2001/7/29 | 工具盒、鑷子組、螺絲起子 | 1 |
$340 |
繫上付款 |
2001/11/2 | 置物箱 | 5 |
$400 |
已付 |
2001/11/2 | 油霧捕捉器 | 1 |
$2625 |
已付 |
2002/5/4 | 鋁梯 | 1 |
$850 |
資優生計畫捐贈 |
2002/8/9 | 吸塵器 | 1 |
$1700 |
資優生計畫捐贈 |
2002/8/20 | 門鈴 | 1 |
$340 |
繫上付款 |
日期 |
工作內容 |
總使用時數及人次 |
2002/2/7 |
燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 |
62小時共28人次 |
2002/8/17 |
燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 127小時共61人次 |
2002/9/6 |
燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 106小時共45人次 |
2002/10/21 |
燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 211小時共94人次 |
2002/10/31 |
燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 123小時共49人次 |
2002/11/20 |
燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 110小時共42人次 |
2002/11/22 |
因燈絲品質不好,燈絲前端並無呈尖狀,所以將此燈絲換調,燈絲並未斷,列為備用品 | 36小時共12人次 |
2002/12/6 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座。更換回11/22換下來的舊燈絲 |
136小時共54人次 |
2002/12/21 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 157小時54人次 |
2002/1/7 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 114小時40人次 |
2003/1/26 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 92小時40人次 |
2003/2/17 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 68小時38人次 |
2003/3/9 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 68小時35人次 |
2003/4/20 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 76小時56人次 |
2003/5/21 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 118小時51人次 |
2003/6/17 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 112小時57人次 |
2003/6/25 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 60小時16人次 |
2003/8/11 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 98小時40人次 |
2003/9/8 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 83小時37人次 |
2003/9/29 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 110小時51人次 |
2003/10/15 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 137小時68人次 |
2003/11/3 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 166小時88人次 |
2003/11/11 | SEM跳機,更換燈絲燈座測試,此隻燈絲不再用 | 70小時25人次 |
2003/11/19 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 78小時40人次 |
2003/11/28 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 100小時36人次 |
2003/12/26 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 172小時40人次 |
2004/1/5 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 48小時17人次 |
2004/1/29 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 120小時55人次 |
2004/2/7 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 81小時42人次 |
2004/2/25 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 76小時35人次 |
2004/3/8 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 104小時43人次 |
2004/3/18 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 93小時50人次 |
2004/4/1 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 85小時42人次 |
2004/4/14 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 97小時48人次 |
2004/5/3 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 108小時52人次 |
2004/5/14 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 88小時36人次 |
2004/5/27 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 92小時42人次 |
2004/6/16 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 103小時54人次 |
2004/7/2 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 118小時50人次 |
2004/7/13 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 98小時40人次 |
2004/7/20 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 86小時39人次 |
2004/8/7 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 99小時46人次 |
2004/8/23 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 94小時44人次 |
2004/9/8 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 82小時40人次 |
2004/9/23 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 101小時59人次 |
2004/10/12 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 116小時66人次 |
2004/10/27 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 103小時60人次 |
2004/11/12 | 燈絲斷,更換燈絲,清洗燈座 | 100小時57人次 |